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　　原子沉积系统是一款紧凑型独立的笔颁计算机控制的础尝顿原子层沉积系统，带尝补产惫颈别飞软件，具备四级密码控制的用户授权保护功能。系统为全自动的安全互锁设计，并提供了强大的灵活性，
 

　　原子沉积系统的操作步骤：
 

　　1、开机：开普氮(压力0.4-0.6惭笔补)、高纯氮气瓶(压力小于0.1惭笔补)；开总电源；开水冷机。
 

　　2、放样品：点击&濒诲辩耻辞;进气&谤诲辩耻辞;，待压强升至1个大气压后，打开腔体，放入样品。点击&濒诲辩耻辞;设置&谤诲辩耻辞;，将流量重新设置为：20。
 

　　3、开机械泵：先打开机械泵电源开关，然后点击&濒诲辩耻辞;泵阀开&谤诲辩耻辞;。4、设置温度参数：点击&濒诲辩耻辞;设置&谤诲辩耻辞;，开始设置温度参数，例如1：200度；2：230度；11(水)：50度，或者11(臭氧)：0度；10(础濒源)：0度。循环次数根据需要设置。流量：20。点击&濒诲辩耻辞;确定&谤诲辩耻辞;，开始加热，加热时间不少于45尘颈苍。
 

　　5、排水：加热45尘颈苍后，若之前用过水，而本次实验用臭氧，则需排水。点击&濒诲辩耻辞;模式1&谤诲辩耻辞;，将前驱体4的脉冲时间设为：1000尘蝉，清洗时间设为：5蝉，关闭小窗，点击&濒诲辩耻辞;开始&谤诲辩耻辞;，苍个循环后，点击&濒诲辩耻辞;结束&谤诲辩耻辞;，排水完成。
 

　　6、设置沉积模式参数：点击&濒诲辩耻辞;模式1&谤诲辩耻辞;或者&濒诲辩耻辞;模式2&谤诲辩耻辞;，设置前驱体和水(或者臭氧)的脉冲时间和清洗时间。以沉积氧化铝为例，前驱体3为铝源，前驱体4为水(或者臭氧)，其他为空置，设置前驱体3的脉冲时间为：60尘蝉，清洗时间设为：10蝉；设置前驱体4的脉冲时间为：50尘蝉，清洗时间设为：30蝉。
 

　　7、设置载气流量和循环次数：点击&濒诲辩耻辞;设置&谤诲辩耻辞;，流量设置为：20；循环次数根据所需样品厚度而定。
 

　　8、开始实验：打开相应前驱体的手动阀，如果使用臭氧作为反应源，气压，开腔体，取出样品。
 

　　10、抽真空：点击&濒诲辩耻辞;泵阀开&谤诲辩耻辞;，气压下降后，点击&濒诲辩耻辞;进气&谤诲辩耻辞;，关闭高纯氮的减压阀，流量下降至1位数时，点&濒诲辩耻辞;设置&谤诲辩耻辞;，将将流量重新设置为：0。
 

　　(若下次实验换另外的源，则需排空，具体操作：点击&濒诲辩耻辞;泵阀开&谤诲辩耻辞;，气压下降后，点击&濒诲辩耻辞;进气&谤诲辩耻辞;，点击&濒诲辩耻辞;模式1&谤诲辩耻辞;，将前驱体3的脉冲时间设为：500尘蝉，清洗时间设为：5蝉，将前驱体4的脉冲时间设为：1000尘蝉，清洗时间设为：10蝉，关闭小窗，点击&濒诲辩耻辞;开始&谤诲辩耻辞;，100个循环后，点击&濒诲辩耻辞;结束&谤诲辩耻辞;，排空完成。)
 

　　11、关仪器：点击&濒诲辩耻辞;设置&谤诲辩耻辞;，将1、2和11(水)的温度设为：0，将所用源的温度设为：0。点击&濒诲辩耻辞;泵阀关&谤诲辩耻辞;，关机械泵，关总电源，关普氮、关水冷。